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晶圆厚度丈量仪
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晶圆厚度丈量仪

晶圆厚度丈量仪

本设备对晶圆以及显示面板部门制程(如晶圆切片、、、研磨、、、减薄、、、划片等)之后的厚度丈量等。。?赏讲馐猿鲎柿献陨淼 TTV/BOW/WRAP/SORI等参数误差。。

项目 机能指标
使用陶瓷盘尺寸 φ260/268/305/360mm,,,机械手自动高低料
设备丈量分辨率 0.005um
丈量反复性 ≤0.5um
丈量精度 ≤1um(丈量对比精度受陶瓷盘及蜡层影响) 
丈量领域 0-1000um 
丈量点位数 1、、、3、、、5、、、9……N(点数可设置) 
丈量效能 最快18sec/p,,,5点采样 
丈量带宽 Max 10000Point/sec 
丈量材质 通明、、、非通明、、、光滑、、、粗糙样品,,,如 GaN、、、GaAS、、、Si、、、SiN、、、Sic等

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