晶圆划裂AOI查抄机重要用于晶圆裂片机加工后,,用于检测Disco环上芯粒的漏划、、离焦、、未划开、、双晶等较显著的划裂缺点,,通过视觉缺点检测,,检出有无蕴含以上缺点即可,,即分辨出良品和不良品,,削减人为,,提升检测效能。。
| 项目 | 机能指标 | |
| 检测系统 |
检测领域 (产品尺寸) |
4寸料盒尺寸:::222mm×215mm×145mm(L×W×H) Disco环尺寸:212(L) ×212(W)mm、、Ø194(内圈)、、Ø228(外圈)、、1.2(厚度)mm 重量:::空环 66.5g ,,实重 86.5g(片重 20g) |
| 6寸料盒尺寸:::288mm×279mm×182mm(L×W×H) Disco环尺寸:212(L) ×212(W)mm、、Ø194(内圈)、、Ø228(外圈)、、1.2(厚度)mm 重量:::空环 154.5g,,实重 224.5g(片重 70g) |
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| 检测项目 | 漏划、、离焦、、未划开、、双晶 | |
| 检测精度 | 3.5um | |
| 漏检率 | 0.01% | |
| 过检率 | ≤0.5% | |
| 产能 | ≥4800pcs | |
| 机台稼动率 | ≥90% | |
| 换线功夫 | 新机种切换功夫:::<60 分钟 | |
| 已有机种切换功夫:::<30 分钟 | ||
| 其它参数 | 安全防护 | 安全光栅/安全门锁:::用于人员安全防护 |
| FFU:::用于干净设备内部空间达到千级、、百级无尘室 | ||
| 静电:::与产品接触材质均为防静电材质,,并配有离子风棒,,以解除静电 | ||
| 电源供给 | AC 220V±10% 50~60Hz | |
| 接地 | 整机接地肆意两点间的电阻<5Ω | |
| 离子规格 | 作业区域离子消散速度<5sec;;离子平衡电压为100V以内 | |
| 使用环境 | 温度:::5~40℃ | |
| 湿度:::25~85%RH(无冷凝) | ||
| 机台内部温度 | <40℃ | |
| 正压气源 | 0.5~0.6MPa,,由厂家提供接入端口 | |
| 负压气源 | -80kpa,,由厂家提供接入端口 | |
缺点图片
